Saturday , October 23 2021

Factor that affect the oxide growth rate

Q: What are the factor that affect the oxide growth rate?

 

Solution:

Factors affecting the oxide growth rate

  1. The crystal orientation of Si affects the oxide growth rate because the reaction rate constant depends on the crystal structure of the Si surface.
  2. Any unintentional moisture accelerates the dry oxidation rate.
  3. High concentrations of sodium enhance the oxidation rate by changing the bond structure in the oxide (enhancing the diffusion and concentration of oxygen molecules in the oxide).
  4. The common dopant elements of groups III and V can enhance the oxidation behavior.
  5. Typical 1-5% addition of dry HCl with dry oxygen increases the oxidation rate.
  6. The oxide growth rate is enhanced with temperature and pressure.

 

What are the factor that affect the oxide growth rate?

অক্সাইড বৃদ্ধির হারকে প্রভাবিত করে এমন উপাদানগুলি কী কী?

 

অক্সাইড বৃদ্ধির হারকে প্রভাবিত করার কারণগুলি

1. Si এর ক্রিস্টাল ওরিয়েন্টেশন অক্সাইড বৃদ্ধির হারকে প্রভাবিত করে কারণ রিঅ্যাকশন হার ধ্রুবক Si পৃষ্ঠের স্ফটিক কাঠামোর উপর নির্ভর করে।

2. কোন অনিচ্ছাকৃত আর্দ্রতা শুষ্ক জারণ হার ত্বরান্বিত করে।

3. সোডিয়ামের উচ্চ ঘনত্ব অক্সাইডে বন্ড কাঠামো পরিবর্তন করে অক্সিডেশন হার বাড়ায় (অক্সাইডে অক্সিজেনের অণুর বিস্তার এবং ঘনত্ব বাড়ায়)।

4. গ্রুপ III এবং V এর সাধারণ ডোপ্যান্ট উপাদানগুলি উন্নত করতে পারে
জারণ আচরণ।

5. সাধারণত শুষ্ক অক্সিজেনের সাথে শুষ্ক HCl এর 1-5% সংযোজন জারণের হার বাড়ায়।

6. তাপমাত্রা এবং চাপের সাথে অক্সাইড বৃদ্ধির হার বৃদ্ধি পায়।

 

Read:Why wet oxidation rate higher than dry oxidation rate?

Check Also

Explain body effects in MOS transistor

Explain body effects in MOS transistor?

Explain body effects in MOS transistor?   body effects in MOS transistor Normally, we considered …